成果产品发表时间:2023-11-30 10:21 涡流法电阻率分析仪(晶锭和晶片),应用于半导体Wafer及Ingot的电阻率分析; 涡流法电阻率探头(晶锭和晶片),应用于光伏、太阳能Si片,晶锭电阻率的检测; SPV法PN探头,应用于光伏、太阳能Si片的检测; 电容法厚度探头,应用于Wafer的厚度测量,平坦度测量,距离测量,分辨率0.1μm; 迁移率(霍尔)测试仪,应用于射频领域,载流子迁移率及载流子浓度的测量; JPV法薄膜方阻探头及分析系统,应用于电池片方阻测量; 手动Wafer电阻率、厚度、PN、温度分析系统(解决样片翘曲度影响); 全自动EFEM晶锭/晶片一体机 |