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发表时间:2023-11-30 10:21

涡流法电阻率分析仪(晶锭和晶片),应用于半导体Wafer及Ingot的电阻率分析;

涡流法电阻率探头(晶锭和晶片),应用于光伏、太阳能Si片,晶锭电阻率的检测;

SPV法PN探头,应用于光伏、太阳能Si片的检测;

电容法厚度探头,应用于Wafer的厚度测量,平坦度测量,距离测量,分辨率0.1μm;

迁移率(霍尔)测试仪,应用于射频领域,载流子迁移率及载流子浓度的测量;

JPV法薄膜方阻探头及分析系统,应用于电池片方阻测量;

手动Wafer电阻率、厚度、PN、温度分析系统(解决样片翘曲度影响);

全自动EFEM晶锭/晶片一体机



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