AI与半导体擦出新火花

       2023国际半导体展会（SEMICON China）在上海新国际博览中心举办。

       在这次展会上，随着人工智能的不断进步，众多半导体生产商也开始尝试把人工智能应用应用到半导体的生产过程中中，“自动化技术”生产制造变成了此次展会中的关键词。在优艾智合的展位上，好多个小巧精致服务机器人，小心地搬运着很薄的晶圆片，快速且准确地把它运送到下一个生产过程中中，在此过程中，看不见分毫颤动，且速度不逊于人力搬运。

      优艾智合销售副总裁李立元向《中国电子报》记者介绍，这款智能机器人是由硬件软件相结合的方式协助半导体生产流水线连通信息流广告与物质流，以此来实现半导体生产车间智能化生产制造。半导体生产制造遭遇招人难、用工成本高、人力搬运易经济损失等痛点。拥有人工智能技术技术的加持后，能够实现1台智能机器人进行4人任务量，全天工作中，减轻用人难的问题。除此之外，智能机器人还能严格执行作业流程工作，且振动值小于0.5G，降低搬运过程的毁坏，提高产品合格率。

      上海市区天雄富创得高新科技展示区，有到多种多样晶圆全自动搬运与贮存系统软件设备，不但有晶圆全自动搬运智能机器人，也有携带式自动货架导向车及其晶圆盒全自动分布式存储。这种自动化技术设备，促使晶圆生产过程中，不但能进行自动搬运，还能在运输过程中完成精确定位。

      上海市天雄富创得高新科技智能化生产设备科视达在这次展会上，也展出了全球首个人工智能技术半导体缺点自动检索设备。记者看到，这款设备可以借助自动化机械手开展持续的检测工作中，与此同时还配备了适用不同尺寸的IGBT水浸泡式密封盒，依据待测模块尺寸，通过在一个密封盒内与此同时摆放好几个模块进行大批量检验。除此之外，一台设备共配备四个密封盒，可一起使用，大大的提高工作效率。

     人工智能技术半导体缺点自动检索设备科视达（我国）有限责任公司技术主管林群向《中国电子报》记者介绍，这款设备可以实现IGBT线上自动化技术超声波检测，不但打破了芯片检测高效率的瓶颈，还能完成机器视觉检测，打造出智能化生产车间。

苏州市高视智能化系统半导体设备苏州市高视半导体也展出了几款智能化系统半导体设备。该公司工作人员向记者介绍，本次展示的晶圆表面检测设备可以实现生产线 OHT全自动生产制造，用于晶圆外观缺陷检测、关键尺寸CD隧道检测，与此同时可选配3D检隧道检测、晶圆反面检测与图像分割。除此之外，这家公司的晶圆外延性表面检测设备，可以选用智能视觉检测优化算法，自动执行晶圆表层外型偏差的检测与归类，一般用于缺点异常演变剖析，且可以更好的帮助制造网站剖析出现异常，提高合格率。与此同时，本次展示的芯粒检挑设备也采用了智能视觉检测优化算法来自动执行处理芯片外型缺点的准确挑选，还能依据检验结果对芯片进行挑选。