MANUAL RESISTIVITY PN THICKNESS TESTER
手动电阻率PN厚度测试仪
产品描述
桌上型手动电阻率PN厚度量测设备。它运用涡流法、表面光电压法、电容法测试电阻率、PN和厚度,
主要针对半导体及其他材料进行测量,同时根据各种不同的需要,配备了多款不同的测试平台以便供客户选择。
应用
半导体材料、太阳能电池材料(硅、多晶硅、碳化硅等),新材料、功能材料、导电薄膜(金属、离子等),
扩散层,硅相关外延材料的样品。
技术参数
重量 | 35kg |
尺寸 | 460mm(长)×505mm(宽)×205mm(高) |
接口 | 以太网口×1 DB9×1 |
电源线接口×1 脚踏开关×1 |
开关按钮×1 气源口×1 |
硅片要求 | 方片:125mm×125mm,156mm×156mm |
圆片(寸):4”,5”,6”,8”,12” |
硅片厚度范围:50μm~1000μm |
硅片电阻率范围:0.1Ω·cm~20Ω·cm(电阻率范围可定制)(厚度约180μm) |
数据指标 |
单点及多点厚度 | 误差 ≤ ±3.00μm |
重复性 ≤ ±0.5μm |
电阻率 | 误差 ≤ ±2% |
重复性 ≤ 0.5% |
环境要求 |
温度 | 22℃~25℃ |
湿度 | 35%~60%RH |