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计量分析设备
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手动电阻率PN厚度测试仪

产品详情

MANUAL RESISTIVITY PN THICKNESS TESTER

手动电阻率PN厚度测试仪

产品描述

       桌上型手动电阻率PN厚度量测设备。它运用涡流法、表面光电压法、电容法测试电阻率、PN和厚度,

主要针对半导体及其他材料进行测量,同时根据各种不同的需要,配备了多款不同的测试平台以便供客户选择。


应用

       半导体材料、太阳能电池材料(硅、多晶硅、碳化硅等),新材料、功能材料、导电薄膜(金属、离子等),

扩散层,硅相关外延材料的样品。


技术参数

重量

35kg

尺寸

460mm(长)×505mm(宽)×205mm(高)

接口

以太网口×1       DB9×1

电源线接口×1     脚踏开关×1

开关按钮×1       气源口×1

硅片要求

方片125mm×125mm,156mm×156mm

圆片(寸):4”,5”,6”,8”,12”

硅片厚度范围:50μm~1000μm

硅片电阻率范围0.1Ω·cm~20Ω·cm(电阻率范围可定制)(厚度约180μm)

数据指标

单点及多点厚度

误差 ±3.00μm

重复性 ±0.5μm

电阻率

误差 ±2%

重复性 0.5%

环境要求

温度

22℃~25℃

湿度

35%~60%RH




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